浮动式涡旋专利技术

• 无油，免维护，高空气洁净度 

• 该气泵的最大抽速为 200 L/min（12 m3 /h）  

• 该气泵的极限真空度≤ 10 Pa 

• 结构简单、体积小、震动小 

• 应用领域：光伏扩散、氧化退火工艺

注：详细介绍，请在此页下载产品资料。