无油真空泵属于干式真空泵，相比油润滑真空泵使用会排除一定的二氧化碳和废气，它具有低碳、环保。而且无油真空泵不需要使用润滑油，运行稳点，使用周期长，没有油污等产生，符合现代企业节能的环保理念。

　　无油真空泵常见应用优先域：

　　1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

　　3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。

　　4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。

　　5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

　　综上所述，无油真空泵无疑是顺应时代的潮流的设备，在这一个倡导节能减排，的时代，无油真空泵的出现显然很是时候，在未来，会有更多的企业将会将眼光看向无油真空泵。